关于我们

微择科技成立于2015年5月,是Micro Lithography Inc. (MLI)的中国独家总代理商,一直以来我们是国内半导体厂商耗材及设备的重要供应商。

 

我们专注于中国半导体的光掩模、光刻(黄光)、刻蚀、薄膜沉积及金属化、减薄抛光、量测检测领域的发展,提供相应的设备、材料及服务。

 

l 光掩模领域:保护膜(Pellicle)、保护膜夹具(Pellicle Holder)、贴膜机、拆模机、卸膜撬棒、激光修补机;光罩盒、光罩夹、开盒器、氮气柜、强光灯系列。

 

l 光刻(黄光)领域:

Cassette, FOUP series, SMIF POD-Wafer & Mask, Shipping Boxes系列, Stock-FOUP & Mask, Auto Wafer Transfer, 晶圆夹,吸笔, SMIF Pod, 光罩夹,开盒器。

 

亿力鑫(ELS)的单片式去胶机,单片式金属剥离机,接触式紫外光刻机,晶圆清洗机,洗边机,匀胶显影机,热板机。

 

Onto Innovation Inc. (Rudolph和Nanometrics合并的纳斯达克上市公司) 的后道封装Stepper JetStep。

 

l 刻蚀领域: 

亿力鑫(ELS)的单片式湿法蚀刻机。

 

l 薄膜沉积及金属化领域:

富临科技(FSE)的真空电子束/热阻式蒸镀系统、真空连续式溅镀系统、全自动光学镀膜系统、ALD原子层镀膜系统、等离子/电浆清洗系统。

 

l 减薄抛光领域:

芯湛半导体的4/5/6/8/12寸晶圆减薄机、研磨抛光机。

 

l 量测检测领域:

Onto Innovation Inc. (Rudolph和Nanometrics合并的纳斯达克上市公司) 的多层金属膜层厚度测试设备Echo,薄膜厚度与CD测试设备Atlas/IRIS S/NanoSpec,Overlay套刻仪与CD IVS220,2D/3D缺陷检查与测试设备Dragonfly/NSX330,FTIR/傅里叶红外光谱仪Element S & QS1200。

 

KLA Filmetrics的膜厚仪、台阶仪、四探针、轮廓仪、纳米压痕仪。


佳智彩的4/6/8寸关键尺寸扫描电子显微镜CD-SEM。

 

昂坤视觉(AK OPTICS)的衬底与外延缺陷检测设备:E3500 SiC 缺陷检测设备,E1000蓝宝石、GaAs、钽酸锂、石英玻璃、InP等衬底及外延片缺陷检测设备,E3200 GaN衬底/Si/PSS/Sapphire/SiC基GaN外延缺陷检测设备,SPI300晶圆形貌分选设备。

 

日本加野仪器(KANOMAX)的扫描型液体中纳米粒子计数器(STPC3)、液体中纳米粒子分布在线分析仪(LNS)、纳米颗粒高效采样系统(NPE/NPC)、纳米颗粒雾化器、精准稀释系统、高分辨率飞行时间质谱仪(infiTOF/UHV)。

 

LUMINA的AT1/AT2缺陷扫描仪。

 

堀场(HORIBA)的椭偏仪、辉光放电光谱仪、拉曼光谱仪、粒度仪。

 

微择专业以“客户为先,品质过硬,专业服务”为核心价值观,服务于半导体IC产业10多年,赢得客户的认可与好评。我们将继续砥砺前行,致力于为客户提供高品质的产品和更专业的服务。