半导体
量测检测领域

2D3D缺陷检测与测试_Dragonfly G3

2D3D缺陷检测与测试_NSX330

Overlay套刻精度与CD_IVS220

薄膜厚度与CD测试设备_Atlas

薄膜厚度与CD测试设备_IRIS S

多层金属膜层厚度测试设备_Echo

傅里叶红外光谱仪FTIR_多层同质异质外延层厚度与载流子浓度测试_Element S

关键尺寸扫描电子显微镜CD-SEM_Gacii-SE046A

GaAsGaNInPLNLT衬底与外延缺陷检测设备_E1000

KLA instruments台阶仪_D-600

KLA轮廓仪_Zeta-20

LUMINA缺陷扫描仪_AT1AT2

SiC 缺陷检测设备_E3500

KLA纳米压痕仪_G200X

KLA Filmetrics膜厚仪_F50

KLA Filmetrics四探针_R50